半導體下半年 設備商按讚

     微影設備大廠荷商艾司摩爾第2季財報符合市場預期,

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,執行長Peter Wennink表示,

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,行動裝置需求強勁,

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,帶動晶圓代工廠及記憶體廠擴大投資,

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,其中晶圓代工廠已著手準備20奈米以下先進製程產能,

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,DRAM廠則擴大Mobile DRAM的擴產,

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,因此,

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,下半年市場景氣將優於上半年。
     艾司摩爾(ASML)第2季因合併了微影光學廠Cymer,

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,單季營收達11.87億歐元,

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,並銷售了38台微影設備,其中來自於晶圓代工廠的訂單占了43%強,又以台積電的訂單最多。而艾司摩爾已接但未出貨(backlog)的微影設備訂單已達42台,將在年底前陸續交貨給客戶。
     艾司摩爾執行長Peter Wennink表示,晶圓代工廠客戶已經著手進行20奈米至14奈米以下先進製程的微影設備建置,將用來生產新一代的行動裝置內建處理器晶片,同樣受惠於行動裝置強勁需求的DRAM廠,因為面臨產能短缺問題,也已開始著手擴充Mobile DRAM產能。
     艾司摩爾先前預估今年營收目標約47.3億歐元,但受惠於客戶擴大採購,營收目標將上調到50億歐元。
     艾司摩爾與英特爾、台積電、三星等共同合作進行的「客戶聯合投資專案」(Customer Co-Investment Program),主要投入極紫外光(EUV)及18吋晶圓微影設備的開發。
     在EUV微影技術方面,艾司摩爾指出,研發進度符合預期,光源功耗已提升到55W,並完成60W的測試,預估2014年可將EUV微影設備的每小時晶圓產出量,提升到70片速度,亦即光源功耗將提升到100W。而艾司摩爾預估今年將出貨5台NXE:3300B的EUV微影設備,並已拿到11台正式訂單及7台預訂訂單。
     根據台積電共同營運長蔣尚義的預期,EUV至少要達到每小時完成處理100片晶圓的產出量,才會具有經濟效益,帶動半導體廠改用EUV微影技術。設備業者推估,時間點應會落在2015年左右,10奈米可能是EUV真正可以進入量產的製程節點。
     在18吋晶圓微影設備部份,艾司摩爾根據客戶聯合投資專案內容,正在準備生產6套設備,初期將分成浸潤式(immersion)及EUV等兩大平台,其中2015年會先推出EUV微影平台試產設備,2016年推出浸潤式平台試產設備,真正量產型的18吋微影設備的出貨時間大約落在2018年。,

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